国家知识产权局信息显示，上海新微技术研发中心有限公司申请一项名为“一种晶圆的检测方法以及检测装置”的专利，公开号CN122180367A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆的检测方法以及检测装置，涉及晶圆检测技术领域。本发明中在目标晶圆被吸盘释放后，控制顶升机构将目标晶圆顶升至预设位置，之后控制光源开启，使得光线照射在目标晶圆上并形成实际光斑图像，以及控制传感机构开启，并生成传感信息。之后将实际光斑图像和预设光斑图像进行对比，并生成对比信息，最后根据对比信息和传感信息判断目标晶圆是否发生倾斜。上述技术方案通过根据对比信息与传感信息协同判断目标晶圆是否发生倾斜，提高了检测结果的准确性，从而避免目标晶圆的损伤。
天眼查资料显示，上海新微技术研发中心有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本144416万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新微技术研发中心有限公司共对外投资了20家企业，参与招投标项目499次，财产线索方面有商标信息52条，专利信息883条，此外企业还拥有行政许可48个。
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作者：情报员
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